此文档是新型开放式液滴驱动芯片。 文档中介绍了一种利用介质上电润湿(E lectrow etting-on-dielectric, E W O D )机理的新型开放式离散液滴驱动器,它采用重掺杂多晶硅制备微电极阵列,氧化硅以及碳氟聚合物薄膜作为复合疏水介质层,悬挂的细硅铝丝作为参考零电极。
2021-05-12
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